非光学面型的合成干涉测量技术

刘诚 教授

6 月 16日（星期二） 10点00分

干涉测量具有精度高、速度快、无测量死角和技术成熟等优点，常用于各种光学元件面型和光学系统性能的精密测量，但对普通金属和塑料制品等，由于其表面往往是粗糙度远大于光波波长的非光学表面，而且面型梯度往往很大大，常规干涉技术无法产生干涉条纹或者条纹因过密而无法分辨，因此一般认为干涉技术无法用于非光学面型的测量。但采用合适的算法可以从两个波长相近的激光所形成的无任何干涉条纹的两幅干涉图中，提取出物体面型分布的清晰条纹场，再采用改进的相移、载频和剪切干涉等技术，可以从所产生的条纹场中提取出和面型相关的相位分布，从而实现用干涉方法测量非光学面型。实验证明这种方法的测量精度在1个微米左右，兼具传统干涉法和条纹投影法的测量速度快、使用方便、精度高和测量范围大等优点。

刘诚，江南大学教授、博导、中国科欧美直播 “百人计划”A 类人才、中科院重大专项总体技术专家，欧美直播 访问教授。主要开展计算成像、光学检测和近场光学等研究。在层叠成像PIE和FPM相关领域的研究工作达到国际先进水平，并成功将其用于解决高功率激光束的近远场测量国际难题，为神光 II 国家激光装置研制了结构紧凑、精度高和速度快的在线检测系统，其综合性能超过日本和美国的同类测量设备。研究工作获得多项国家自然科学基金、国防重大专项等支持；研究成果获中国仪器仪表学会科技进步一等奖、上海市科技进步一等奖、首届中国军民两用技术创新金奖等奖励；以第一作者和通讯作者发表 SCI 收录论文百余篇。

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撰写：卢大江

排版：陈仕发

一审一校：任露洋

二审二校：马将

三审三校：郑纯